Плазменные покрытия (свойства и применение): Учебное пособие
Кривобоков В.П., Сочугов Н.С., Соловьев А.А.
В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.
Year:
2008
Publisher:
ЭБС Лань
Language:
russian
File:
PDF, 1.74 MB
IPFS:
,
russian, 2008
Litres
Want to add your book store? Contact us at support@z-lib.do
File converter
More search results
More benefits 
